ওয়েজ উইন্ডো
-
নির্ভুলতা ওয়েজ উইন্ডোজ (ওয়েজ প্রিজম)
সাবস্ট্রেট:সিডিজিএম / স্কট
মাত্রিক সহনশীলতা:-0.1 মিমি
বেধ সহনশীলতা:± 0.05 মিমি
পৃষ্ঠের সমতলতা: 1 （0.5）@632.8nm
পৃষ্ঠের গুণমান:40/20
প্রান্ত:গ্রাউন্ড, 0.3 মিমি সর্বোচ্চ। পূর্ণ প্রস্থ বেভেল
অ্যাপারচার সাফ করুন:90%
আবরণ:র্যাবস <0.5%@design তরঙ্গদৈর্ঘ্য
