অর্ধপরিবাহী ক্ষেত্রে অপটিক্যাল ডিজাইনের বিস্তৃত প্রয়োগ রয়েছে। একটি ফটোলিথোগ্রাফি মেশিনে, অপটিক্যাল সিস্টেম আলোর উৎস থেকে নির্গত আলোক রশ্মিকে কেন্দ্রীভূত করার এবং সার্কিট প্যাটার্নটি প্রকাশ করার জন্য সিলিকন ওয়েফারের উপর প্রক্ষেপণের জন্য দায়ী। অতএব, ফটোলিথোগ্রাফি সিস্টেমে অপটিক্যাল উপাদানগুলির নকশা এবং অপ্টিমাইজেশন ফটোলিথোগ্রাফি মেশিনের কর্মক্ষমতা উন্নত করার একটি গুরুত্বপূর্ণ উপায়। ফটোলিথোগ্রাফি মেশিনে ব্যবহৃত কিছু অপটিক্যাল উপাদান নীচে দেওয়া হল:
অভিক্ষেপের উদ্দেশ্য
০১ প্রক্ষেপণ উদ্দেশ্য হল একটি লিথোগ্রাফি মেশিনের একটি মূল অপটিক্যাল উপাদান, যা সাধারণত উত্তল লেন্স, অবতল লেন্স এবং প্রিজম সহ লেন্সের একটি সিরিজ নিয়ে গঠিত।
০২ এর কাজ হল মাস্কের সার্কিট প্যাটার্ন সঙ্কুচিত করা এবং ফটোরেজিস্ট দিয়ে লেপা ওয়েফারের উপর ফোকাস করা।
০৩ প্রক্ষেপণ উদ্দেশ্যের নির্ভুলতা এবং কর্মক্ষমতা লিথোগ্রাফি মেশিনের রেজোলিউশন এবং ইমেজিং মানের উপর একটি নির্ধারক প্রভাব ফেলে।
আয়না
01 আয়নাআলোর দিক পরিবর্তন করতে এবং সঠিক স্থানে নির্দেশ করতে ব্যবহৃত হয়।
০২ EUV লিথোগ্রাফি মেশিনে, আয়না বিশেষভাবে গুরুত্বপূর্ণ কারণ EUV আলো সহজেই উপকরণ দ্বারা শোষিত হয়, তাই উচ্চ প্রতিফলন ক্ষমতা সম্পন্ন আয়না ব্যবহার করা আবশ্যক।
০৩ প্রতিফলকের পৃষ্ঠের নির্ভুলতা এবং স্থিতিশীলতা লিথোগ্রাফি মেশিনের কর্মক্ষমতার উপরও দুর্দান্ত প্রভাব ফেলে।
ফিল্টার
০১ ফিল্টারগুলি আলোর অবাঞ্ছিত তরঙ্গদৈর্ঘ্য অপসারণ করতে ব্যবহৃত হয়, যা ফটোলিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ার নির্ভুলতা এবং গুণমান উন্নত করে।
০২ উপযুক্ত ফিল্টার নির্বাচন করে, এটি নিশ্চিত করা যেতে পারে যে শুধুমাত্র একটি নির্দিষ্ট তরঙ্গদৈর্ঘ্যের আলো লিথোগ্রাফি মেশিনে প্রবেশ করে, যার ফলে লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ার নির্ভুলতা এবং স্থায়িত্ব উন্নত হয়।
প্রিজম এবং অন্যান্য উপাদান
এছাড়াও, লিথোগ্রাফি মেশিনটি নির্দিষ্ট লিথোগ্রাফির প্রয়োজনীয়তা পূরণের জন্য অন্যান্য সহায়ক অপটিক্যাল উপাদান, যেমন প্রিজম, পোলারাইজার ইত্যাদি ব্যবহার করতে পারে। লিথোগ্রাফি মেশিনের উচ্চ নির্ভুলতা এবং দক্ষতা নিশ্চিত করার জন্য এই অপটিক্যাল উপাদানগুলির নির্বাচন, নকশা এবং উত্পাদন অবশ্যই প্রাসঙ্গিক প্রযুক্তিগত মান এবং প্রয়োজনীয়তাগুলি কঠোরভাবে অনুসরণ করতে হবে।
সংক্ষেপে, লিথোগ্রাফি মেশিনের ক্ষেত্রে অপটিক্যাল উপাদানের প্রয়োগের লক্ষ্য হল লিথোগ্রাফি মেশিনের কর্মক্ষমতা এবং উৎপাদন দক্ষতা উন্নত করা, যার ফলে মাইক্রোইলেকট্রনিক্স উৎপাদন শিল্পের উন্নয়নে সহায়তা করা হয়। লিথোগ্রাফি প্রযুক্তির ক্রমাগত বিকাশের সাথে সাথে, অপটিক্যাল উপাদানগুলির অপ্টিমাইজেশন এবং উদ্ভাবন পরবর্তী প্রজন্মের চিপ তৈরির জন্য আরও বেশি সম্ভাবনা প্রদান করবে।
আরও অন্তর্দৃষ্টি এবং বিশেষজ্ঞ পরামর্শের জন্য, আমাদের ওয়েবসাইটটি দেখুনhttps://www.jiujonoptics.com/আমাদের পণ্য এবং সমাধান সম্পর্কে আরও জানতে।
পোস্টের সময়: জানুয়ারী-০২-২০২৫
